用飛秒激光實現玻璃無裂痕鉆孔

　　法國波爾多大學強激光與應用研究所（CELIA）的激光-物質相互作用研究小組在GHz脈沖模式下使用飛秒激光探索了一種新的玻璃微鉆孔方法。相關研究近日發表于《極限制造國際期刊》。

　　研究團隊利用GHz脈沖狀態下的飛秒激光，設計了一種新的玻璃微加工方法，該方法可以鉆取無錐形、細長的孔，其內壁光滑，玻璃中沒有任何裂縫。通常，用標準單飛秒脈沖激光打孔會得到長度有限且內表面粗糙的錐形孔。

　　這種新的激光-物質相互作用機制允許直接在一個步驟中鉆出高縱橫比的孔，而無需任何化學蝕刻。激光脈沖參數的選擇對于獲得良好的微細加工質量是非常重要的。飛秒激光ghz爆發模式可能為微電子學等新應用鋪平道路，在微電子學中，硅中間體很可能被玻璃中間體取代。