具有以下優點（與波譜儀相比）
能譜儀探測X射線的效率高。
在同一時間對分析點內所有元素X射線光子的能量進行測定和計數，在幾分鐘內可得到定性分析結果，而波譜儀只能逐個測量每種元素特征波長。
結構簡單，穩定性和重現性都很好（因為無機械傳動），不必聚焦，對樣品表面無特殊要求，適于粗糙表面分析。
具有以下缺點和不足：
分辨率低：Si(Li)檢測器分辨率約為160eV；波譜儀分辨率為5－10eV
能譜儀中因Si(Li)檢測器的鈹窗口限制了超輕元素的測量，因此它只能分析原子序數大于11的元素；而波譜儀可測定原子序數從4到92間的所有元素。
能譜儀的Si(Li)探頭必須保持在低溫態，因此必須時時用液氮冷卻。