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具有以下優點（與波譜儀相比） 能譜儀探測X射線的效率高。 在同一時間對分析點內所有元素X射線光子的能量進行測定和計數，在幾分鐘內可得到定性分析結果，而波譜儀只能逐個測量每種元素特征波長。 結構簡單，穩定性和重現性都很好（因為無機械傳動），不必聚焦，對樣品表面無特殊要求，適于粗糙表面分析。 具有以下缺點和不足： 分辨率低：Si(Li)檢測器分辨率約為160eV；波譜儀分辨率為5－10eV 能譜儀中因Si(Li)檢測器的鈹窗口限制了超輕元素的測量，因此它只能分析原子序數大于11的元素；而波譜儀可測定原子序數從4到92間的所有元素。 能譜儀的Si(Li)探頭必須保持在低溫態，因此必須時時用液氮冷卻。......閱讀全文
具有以下優點（與波譜儀相比） 能譜儀探測X射線的效率高。 在同一時間對分析點內所有元素X射線光子的能量進行測定和計數，在幾分鐘內可得到定性分析結果，而波譜儀只能逐個測量每種元素特征波長。 結構簡單，穩定性和重現性都很好（因為無機械傳動），不必聚焦，對樣品表面無特殊要求，適于粗糙表面分析。
本文介紹了使用硅(鋰)檢測器進行定量電子探針分析的一種方法,這種方法使用了背景模擬技術及其它技術中的電荷收集不完全和電子噪聲的校正。輕元素分析的改進對硅酸鹽樣品是特別有利的,使之盡可能采用純金屬作分析標樣。這種方法已被用于各種地球化學樣品的分析中(包括用JG—1和JB—1巖石做成的玻璃)。與濕式化
使入射電子束在樣品表面沿選定的直線掃描，譜儀固定接收某一元素的特征X射線信號，其強度在這一直線上的變化曲線可以反映被測元素在此直線上的濃度分布，線分析法較適合于分析各類界面附近的成分分布和元素擴散。 實驗時，首先在樣品上選定的區域拍照一張背散射電子像(或二次電子像)，再把線分析的位置和線分析
電子探針（Electron Probe Microanalysis-EPMA）的主要功能是進行微區成分分析。它是在電子光學和X射線光譜學原理的基礎上發展起來的一種高效率分析儀器。 其原理是：用細聚焦電子束入射樣品表面，激發出樣品元素的特征X射線，分析特征X射線的波長（或能量）可知元素種類；分析
利用SEM-EDS研究了硅襯底上Au、Cu薄膜發射的不同線系特征X射線相對強度間比值隨出射角的變化規律,探討了影響其變化的原因。結果顯示:隨著出射角變大,同一元素不同線系X射線相對強度間比值具有一定變化規律。低能量譜線的強度相對高能量譜線逐漸變大,這種變化主要是受X射線被基體吸收效應的影響所致。在
本文對作者建立的微區成分無標樣定量分析法進行了簡化,使原有的計算量大為減少。用簡化模型對Cu-Si,FeS2,NaCl,GaAs試樣和多元鋼樣原實驗數據進行了定量計算,并與原模型多元程序計算結果進行比較。結果表明,這種簡化是合理的。?
使入射電子束在樣品表面選定的微區內作光柵掃描，譜儀固定接收某一元素的特征X射線信號，并以此調制熒光屏的亮度，可獲得樣品微區內被測元素的分布狀態。元素的面分布圖像可以清晰地顯示與基體成分存在差別的第二相和夾雜物，能夠定性地顯示微區內某元素的偏析情況。在顯示元素特征X射線強度的面分布圖像中，較亮的區
(1) 樣品 樣品表面要求平整，必須進行拋光；樣品應具有良好的導電性，對于不導電的樣品，表面需噴鍍一層不含分析元素的薄膜。實驗時要準確調整樣品的高度，使樣品分析表面位于分光譜儀聚焦圓的圓周上。 (2) 加速電壓 電子探針電子槍的加速電壓一般為3～50kV，分析過程中加速電壓的選擇應考慮待分
微區X射線衍射儀是一種用于物理學、化學、材料科學、考古學領域的分析儀器，于2015年1月12日啟用。 技術指標 采用新一代的陶瓷X光管技術，焦斑位置穩定，衰減小，壽命長 ； 全自動可變狹縫，可以自由選擇固定狹縫大小或固定測量面積模式；高精度立式測角儀，樣品水平放置，最小步長及角度重
隨著探頭制造技術水平的提高、電子學技術的發展,以及對脈沖處理技術和重疊峰處理方法的改進,能譜定量分析的精度得到不斷提高。目前,對原子序數在11～30之間的常用元素,其分析精度大體上可以達到波長譜儀的水平。由于能譜定量分析的方法簡單、操作方便,它既能進行大試樣的平均成份分析,也能進行微粒、薄板、鍍層