2018年全球MEMS傳感器競爭格局及發展趨勢
區域競爭：產業向亞太轉移，美、日、德依舊為領先國家 縱觀全球MEMS傳感器市場，美、日、德一直占據著主導地位。然而近年來，亞太地區（含日本）受到智能手機、平板電腦、可穿戴產品等市場需求持續增長、且全球電子整機產業不斷向中國轉移等因素影響，增長速度較快，2017年MEMS市場占比達到46.8%，反超美國、歐洲等區域。 盡管全球MEMS傳感器產業向亞洲轉移，但具體到國家來看，美國、日本和德國作為全球MEMS產業、技術和產品的發達國家，其行業發展水平依舊世界領先。 以美國為例，經過長期的發展，美國已發展為集官、產、學、研、金融等為一體的較為完整的MEMS產業體系。其用來進行MEMS產品生產的晶圓尺寸目前基本與IC同步，呈現大口徑化、智能化，與人體神經元和大腦信息互通互聯，與IC芯片、計算機軟件、數據采集和處理技術等多位一體化發展的趨勢。同時，應用領域也不斷向軍事、醫療、生物、仿生學、航空航天等領域全方位快速滲透和發展。 ......閱讀全文
MEMS氣體傳感器的設計與工藝
目前，氣體傳感器的應用日趨廣泛，在物聯網等泛在應用的推動下，其技術發展方向開始向小型化、集成化、模塊化、智能化方向發展。具有代表性的基于金屬氧化物半導體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應用于安全、環境、樓宇控制等領域的氣體檢測，該類傳感器的能耗是制約其大規模布設的核心節點，MEMS技術為解決MOS
尺寸/成本優勢兼具，MEMS光譜傳感器亮相
微機電系統(MEMS)晶片制造商Si-Ware Systems(SWS)日前于美國西部光電展(SPIE Photonics West 2015)上發布第一款MEMS光譜感測器(Spectral Sensor)，可用以設計手持式近紅外線(Near Infra-Red, NIR)光譜分析儀，協助農夫
環境監測：MEMS傳感器發展新趨勢
物聯網的崛起，使傳感器進入了一個新的發展趨勢。而消費者逐步對周邊環境品質要求上升時，也帶動了環境傳感器的需求上漲。 在智慧型手機以及穿戴式裝置應用中，陀螺儀、加速度傳感器和磁力計等動作傳感器已發展成熟。制造商們開始找尋創新應用，意法半導體與博世公司都認為，環境傳感器將是接下來微機電系統傳感器一
基于MEMS磁傳感器設計及制作（二）
Langfelder等制備了具有電容讀出的MEMS磁場傳感器，該傳感器可檢測與諧振結構表面垂直方向（z軸） 的磁場。它由一組固定定子和兩根細梁懸掛的梭子組成，形成2個差分平行板敏感電容器C1和C2，見圖4。具有傳感器共振頻率的梁，在通有電流時與磁場相互作用，從而使2個細梁受到洛倫茲力作用。這個力
重慶研發出全球頂級MEMS傳感器芯片
近日，記者從兩江新區獲悉，重慶企業研發出全球頂級MEMS(微機電系統)傳感器芯片，這種芯片將用于監測橋梁、隧道等市政設施，監測精度比傳統監測方式提升10倍。 據介紹，重慶德爾森傳感器技術有限公司是落戶兩江新區的一家科技企業，2015年，該公司開發出MD系列MEMS傳感器芯片。該芯片采用了多項創
MEMS加速度傳感器的工作原理
什么是MEMS加速度計？加速度計是一種慣性傳感器，能夠測量物體的加速力。加速力就是當物體在加速過程中作用在物體上的力，就比如地球引力，也就是重力。加速力可以是個常量，比如g，也可以是變量。MEMS（MICro EleCTRo Mechanical Systems）加速度計就是使用MEMS技術制造的加
MEMS傳感器：無人機的核心（二）
磁力計磁力計如同一部指南針，可以根據地球的磁場實現無人機的航向。Bosch Sensortec的BMM150就是一個例子，這是一部三軸數字地磁傳感器。BMM150與BMI088型IMU結合使用，可提供九自由度（DoF）解決方案，用于航向估算和導航。在寬泛溫度范圍內的穩定性能、16位分辨率和抗強磁場的
MEMS傳感器：無人機的核心（一）
無人機的市場規模和范圍持續蓬勃發展，新應用程序不斷涌現。無人機的應用也越來越普遍，無論是運送郵件還是包裹、為兒童和老年人提供娛樂、安全監控、農業或工業管理，或開辟航空攝影的新視野。最初，大多數無人機都是相對簡單的玩具。然而最近，其飛行能力顯著提高，使其更安全、更穩定、更易于控制，從而能夠用于更廣泛的
基于MEMS磁傳感器設計及制作（一）
由于磁性傳感技術不會受到灰塵、污垢、油脂、振動以及濕度的影響，因此磁傳感器在工業設備和電子儀器中有著廣泛的應用，如磁共振成像、生產的自動控制、流程工業、煤礦勘探、電流測量、缺陷定位和鐵磁材料剩余應力檢測等方面。為了滿足不同場合的應用，已根據不同傳感原理制備了相應的磁傳感器，常見的有超導量子干涉裝置（
2024深圳MEMS傳感器展「展位申請」深圳傳感器展會
2024深圳（中國）傳感器展「官網」深圳傳感器展展覽時間：2024年4月9-11日展會時間：2024年4月9日-11日論壇時間：2024年4月9日-11日展會地點：深圳國際博覽中心展會規模：50,000平方米、800家展商、90,000名專業觀眾前面三位數：136 （李先生）中間四位數：5198?（
顯微鏡下確定MEMS傳感器的問題
MEMS傳感器的研發總會使人興奮，但與此同時也會面臨著很大的壓力。當研發一種新的MEMS傳感器制造工藝時，最初的幾片晶圓通常不會量產可工作的器件。根據工藝的復雜性和創新性，將需要幾個星期、幾個月甚至幾年的時間去得到為數不多的好芯片。您可能會問自己這樣一個問題：怎樣才能使MEMS傳感器工藝研發進度更加
顯微鏡下確定MEMS傳感器的裂紋
裂紋大多數裂紋都可以在光學顯微鏡下看到，但是，在某些情況下，由于分辨率的局限性，細的“發際線”裂縫是不可見的。常見的檢查方法/設備:探針臺電性測試聲學顯微鏡基于探針的微機械測試
mems振蕩器到底是不是傳感器？
電路當中，實現分頻比較容易，倍頻的話，就會產生噪聲，所以MENS硅在高速通信系統中無法使用。石英振蕩器振蕩的頻率源來自石英，石英可以產生壓電效應，是一種高值元件，振蕩頻率非常穩定，但是，如果同樣對這樣的頻率進行倍頻，也會產生噪聲，總之，倍頻會產生更多的噪音，更何況硅諧振源本身與石英振蕩源比較，還是稍
MEMS氣壓傳感器在物聯網中的應用
據麥姆斯咨詢報道，氣壓傳感器是一類非常有用的MEMS器件。它們在物聯網（IoT）中有非常廣泛的應用，從氣象監測到室內資產跟蹤。壓力傳感器雖然不常被看見，但它們的影響無處不在。壓力傳感器有多種不同的應用，其中最常見的應用是氣象監測。壓力傳感器現在已非常普遍。它現在可能就存在你的口袋里！是的，在
2024MEMS傳感器展上海。展會日期:2024
2024中國（上海）國際傳感器及應用技術展覽會China (Shanghai) International sensor and Application Technology Exhibition2024時間：2024年11月18日-20日?地點：上海新國際博覽中心聯系人：李主任 手 機：136
顯微鏡下確定MEMS傳感器的粘滯作用
粘滯作用像懸臂梁、薄膜、梭形閥這些機械結構可能由于結構的釋放會和底層基板粘連，導致器件永久性失效。如果MEMS傳感器結構和襯底之間的距離非常小，那么通過顯微鏡觀察曲率是不可見的。如果您想要好芯片，恐怕只有在封測環節來挑選了。常見的檢查方法/設備:探針臺電性測試（如電容傳感器）基于探針的微機械測試
基于MEMS加速度傳感器的原理及分析
?? 摘要：主要介紹了五種目前常見的基于MEMS技術的加速計傳感器，從物理結構的角度對這 幾種傳感器的測量原理進行了分析，不但著重介紹了已經較為成熟且形成產業化的硅微電容式、壓 阻式、熱電耦式加速度傳感器，而且對目前較為前沿的光波導式加速度傳感器也進行了一些分析和介紹。 關鍵詞：硅微機械加
2018年全球MEMS傳感器競爭格局及發展趨勢
區域競爭：產業向亞太轉移，美、日、德依舊為領先國家 縱觀全球MEMS傳感器市場，美、日、德一直占據著主導地位。然而近年來，亞太地區（含日本）受到智能手機、平板電腦、可穿戴產品等市場需求持續增長、且全球電子整機產業不斷向中國轉移等因素影響，增長速度較快，2017年MEMS市場占比達到46.8%
顯微鏡下確定MEMS傳感器的粘附力問題
粘附力問題MEMS傳感器結構內層與層之間的粘附力可能很微小，光學顯微鏡也許會看到分層跡象，但微小的粘結層是觀察不到的。常見的檢查方法/設備:聲學顯微鏡基于探針的微機械測試（破壞性的測試）
集成濾光窗的－MEMS－紅外傳感器電子封裝（四）
表3．熱機械FEA邊界條件和載荷圖13：封裝襯底、ASIC和MEMS（頂部無晶圓）翹曲（w）。結論本文介紹了一個紅外傳感器的封裝設計，產品原型表征測試結果令人滿意，測量到的FFOV角度在80°到110°之間，具體數值取決于光窗尺寸。為了降低閃光燈影響和環境噪聲，封裝頂部裝有硅基紅外濾光片，并
集成濾光窗的－MEMS－紅外傳感器電子封裝（一）
摘要傳感器半導體技術的開發成果日益成為提高傳感器集成度的一個典型途徑，在很多情況下，為特殊用途的MEMS（微機電系統）類傳感器提高集成度的奠定了堅實的基礎。本文介紹一個MEMS光熱傳感器的封裝結構以及系統級封裝（SIP）的組裝細節，涉及一個基于半導體技術的紅外傳感器結構。傳感器封裝以及其與傳
集成濾光窗的－MEMS－紅外傳感器電子封裝（三）
n1和n2表示每種材料的折射率，θ1和θ2是光線在每種材料中傳播與表面法線形成的夾角（逆時針方向），并假設硅的折射率n ＝ 3．44，空氣／真空的折射率n ＝ 1。基于上述幾何假設，預期視野角度FFOV ＝ 80°－ 82°。然后開始腔體封裝的初步設計，并在封裝試生產線實驗室中制造了
集成濾光窗的－MEMS－紅外傳感器電子封裝（二）
該紅外傳感器封裝的設計和開發采用常見的并列布局，傳感器和ASIC在封裝內是并排放置（圖3）。在封裝上表面集成一個光學窗口，用于選擇紅外輻射的波長成分，這種光窗解決方案可以防止環境光輻射到達探測器感光區，從而降低總系統噪聲。構成封裝上表面和腔壁的聚合物可以視為對可見光－紅外輻射完全不透明，可歸
量子領域“MEMS智能微傳感器芯片”項目落戶浙江桐鄉
2016年9月，廣泛應用于量子領域的“MEMS智能微傳感器芯片”項目簽約落戶浙江桐鄉，成為桐鄉市引進的第三個量子應用技術大項目。該項目由中科院地質與地球物理研究所于連忠等4位國家千人計劃專家領銜開發，產品應用于加速度儀、陀螺儀、量子網關等，是現代物聯網的核心器件，是智能制造業的發動機，廣泛應用于
射頻MEMS移相器
1、引言微波移相器是相控陣雷達、衛星通信、移動通信設備中的核心組件，它的工作頻帶、插入損耗直接影響著這些設備的抗干擾能力和靈敏度，以及系統的重量、體積和成本，因此研究寬帶、低插損的移相器在軍事上和民用衛星通信領域具有重要的意義。近年來，隨著RF MEMS開關的研究不斷取得進展，使MEMS開關替代
2021世界傳感器大會|MEMS與智能傳感器技術專場在鄭召開！
11月1日，MEMS與智能傳感器技術專場活動在鄭州國際會展中心成功召開。本次論壇邀請了眾多權威學者，他們針對智能傳感器行業發展存在的突出問題及薄弱環節，還有我國MEMS與智能傳感器技術的核心競爭力進行了深度探討。會議現場照片 本次會議由中國科學技術協會、河南省人民政府作為主辦單位，中國儀器儀表
顯微鏡下確定MEMS傳感器的邊墻形貌問題
邊墻形貌（sidewall profile）不佳微結構的邊墻對器件性能有很大程度上的影響。通過光學顯微鏡看結構，所看到的邊墻不是很好。特別是，刻蝕不足和溝槽通常是看不見的。然而，這些幾何形變會明顯改變彈簧和柔性板的機械性能。常見的檢查方法/設備:切割晶圓，通過掃描電子顯微鏡觀察（破壞性的測試）基于探
顯微鏡下確定MEMS傳感器的不精確的材料特性
不精確的材料特性 新型材料在MEMS傳感器器件已經顯示其巨大的潛力。但是，薄膜材料比本體材料更能展示出不同的特性。尤其使用聚合物時，如楊氏模量、線性度、磁滯現象等機械性能嚴重依賴于工藝參數。不精確或者是不理想的材料特性可能會降低器件性能，甚至導致器件失效。 常見的檢查方法/設備: 探針臺（針
上海微技術工業研究院攜手IMT－推進MEMS傳感器發展
上海微技術工業研究院（SITRI）日前與美國最大的MEMS技術和制造服務提供商IMT（Innovative Micro Technology）簽訂戰略合作協議，雙方攜手面向物聯網應用MEMS傳感器技術創新，共同推進MEMS技術發展。 作為物聯網實現的基礎，MEMS傳感器廣泛應用于智能
顯微鏡下確定MEMS傳感器的失敗的釋放工藝
失敗的釋放工藝所謂釋放工藝，通常是為了形成MEMS器件中可動的機械部分，通過對連接機械部分到基底的材料進行不完全刻蝕來實現。當釋放失敗時，重要的是找到大部分釋放結構釋放成功而錨點沒有釋放好的區域。常見的檢查方法/設備：單芯片器件層或結構測試（破壞性測試）（Break-off device layer