長春光機所極紫外多層膜膜厚分布超高精度控制研究獲進展
近日，中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室金春水研究團隊在極紫外多層膜膜厚分布超高精度控制研究方面取得新進展：通過采用遺傳算法，實現了Φ200mm曲面基底上極紫外多層膜膜厚分布控制精度優于±0.1%，鍍膜引起的不可補償面形誤差小于0.1nmRMS，相關指標達到國際先進水平。相關結果在線發表于近期的Optics Letters（dx.doi.org/10.1364/OL.40.003958）上。 極紫外多層膜反射鏡是極紫外光刻系統的核心光學元件。極紫外光刻系統需要高性能的極紫外多層膜，包括高反射率，低應力，高穩定性和高均勻性。對于極紫外光刻系統中的投影物鏡，必須對鍍制在其上的極紫外多層膜進行超高精度的膜厚分布控制，以便實現波長匹配和減小鍍膜引起的面形誤差。 該研究團隊采用遺傳算法，完成了磁控濺射濺射源特性參數的反演和用于控制膜厚分布的公轉調速曲線的反演，避免了直接測量磁控濺射速率空間分布的繁瑣過......閱讀全文
“極紫外光刻關鍵技術研究”通過驗收
近日，“極紫外（EUV）光刻關鍵技術研究”項目驗收會在中國科學院長春光學精密機械與物理研究所（以下簡稱長春光機所）召開，驗收會由“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項（02專項）實施管理辦公室組織。 會上，評審專家組肯定了項目取得的一系列成果，一致同意項目通過驗收，認為該項目的
陰和俊調研長春光機所
參觀實驗室 9月20日上午，中國科學院副院長陰和俊調研中國科學院長春光學精密機械與物理研究所。 陰和俊一行首先參觀了長春光機所某大型光學系統裝調現場、特種材料加工工藝研究實驗室，實地考察了在建中的應用光學研究及專項光學裝備綜合研發平臺等基建項目和該所投資企業長春
舜宇光學公司訪問長春光機所
9月26日，舜宇光學科技（集團）有限公司董事長王文鑒率部分公司高管到中科院長春光學精密機械與物理研究所進行訪問交流。 在所期間，王文鑒一行聽取了長春光機科技發展有限責任公司總裁甘澤龍關于長春光機所科技前沿布局和成果產業化情況的介紹，實地參觀了該所投資企業之一——長春希達電子技
長春光機所研制出高性能微米線日盲紫外探測器
日盲光譜區是指波長在200～280nm波段的紫外輻射，由于太陽輻射在這一波段的光波幾乎完全被地球的臭氧層所吸收，即在這個波段大氣層中的背景輻射幾乎為零，所以稱為“日盲”。在該光譜范圍內，由于具有極低的背景噪音，同紅外探測技術相比，紫外探測具有虛警率低、不需低溫冷卻、不掃描、告警器體積小
長春光機所極紫外多層膜膜厚分布超高精度控制研究獲進展
近日，中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室金春水研究團隊在極紫外多層膜膜厚分布超高精度控制研究方面取得新進展：通過采用遺傳算法，實現了Φ200mm曲面基底上極紫外多層膜膜厚分布控制精度優于±0.1%，鍍膜引起的不可補償面形誤差小于0.1nmRMS，相關指標達到國際先進水平
長春市常務副市長調研長春光機所和長春應化所
6月2日，長春市委常委、常務副市長隋忠誠在長春市科技局局長萬載斌等陪同下先后到中科院長春光學精密機械與物理研究所和中科院長春應用化學研究所進行專題考察調研。長春光機所所長宣明、副所長宋志義，長春應化所所長安立佳、所長助理周光遠等接待了隋忠誠一行。 在長春光機所，隋忠誠聽取了長春
長春光機所所研制紫外臭氧垂直探測儀在軌正常運行五年
設計壽命為3年的紫外臭氧垂直探測儀已經在太空過完了她的5周歲“生日”。目前，該載荷各項系統均運轉正常、工作穩定，她將在浩瀚 太空中隨風云三號B星“超期服役”，繼續為我國環境監測、氣候預報和全球氣候變化研究提供重要數據。 中科院長春光機所研制的紫外臭氧垂直探測儀（SBUS）于2010年1
長春光機所攜7家企業入選“長春全球發布”上榜企業名錄
2017年9月18日，由長春市人民政府、中國新聞社主辦，長春市人民政府外事辦公室、中國新聞社吉林分社、中共長春市委對外宣傳辦公室承辦的“長春全球發布”在長春香格里拉酒店舉行。 “長春全球發布”提出“立足吉林看長春，放眼全國看長春，走向世界看長春”的口號，明確了將長春市知名企業和知名品牌推向世界
長春光機所研制探測儀“延遲退休”
本報訊（記者李雙藝通訊員李蓉）由中科院長春光機所研制，設計壽命為3年的紫外臭氧垂直探測儀已在太空過完了她的5周歲“生日”，并將隨風云三號B星繼續服役，為我國環境監測、氣候預報和全球氣候變化研究提供重要數據。 該探測儀于2010年11月5日搭載風云三號氣象衛星B星發射升空。2010年11月11日
長春光機所承擔重大科研裝備研制項目
長春光機所獲批承擔光柵領域國家重大科研裝備研制項目 日前，由國家光柵制造與應用工程技術研究中心申請的國家重大科研裝備研制項目“大型高精度衍射光柵刻劃系統”獲得財政部批準，獲支持經費超過1億元。 光柵制造技術是一種超精密加工技術，光柵刻劃機被稱為“精密機械之王”，要達到大刻劃面積和高刻劃
國際光學會議在長春光機所舉行
為慶祝中科院長春光機所建所65周年，近日，以Light期刊為平臺，由長春光機所與美國羅切斯特大學共同主辦的Light Conference 2017在長春光機所開幕。 會議邀請了來自美、英、加等13個國家和地區的200余位知名光學專家參會并作學術報告，大會還吸引了300余位專家、學者和企業代表
宣明連任中科院長春光機所所長
宣明 11月21日下午，中國科學院長春光機所舉行了新一屆領導班子宣布大會。 中國科學院長春分院副院長、黨組副書記李冰宣讀了任免通知。宣布當選為長春光機所所長，賈平、馬明亞、宋志義、張濤、張學軍、金宏當選為長春光機所副所長。免去申德振、陳濤長春光機所副所長職務。 ? ?
光刻機的紫外光源
曝光系統最核心的部件之一是紫外光源。 常見光源分為: 可見光：g線：436nm 紫外光（UV），i線：365nm 深紫外光（DUV）,KrF 準分子激光：248 nm, ArF 準分子激光：193 nm 極紫外光（EUV），10 ~ 15 nm 對光源系統的要求 a.有適當的波長。
長春光機所馬明亞當選長春市雙擁工作先進個人
7月23日，長春市委、市政府、長春警備區共同召開長春市擁軍優屬、擁政愛民暨科技擁軍工作表彰大會，表彰三年來長春市雙擁工作中涌現出來的先進單位和個人，以加快推動全市雙擁工作深入開展，掀起爭創全國雙擁模范城“七連冠”新高潮。吉林省委常委、長春市委書記高廣濱到會講話，長春市長崔杰主持會議
長春光機所成功獲得鈉激光導星圖像
??????? 近日，由中科院長春光機所和新產業光電技術有限公司共同承擔的創新項目“鈉激光導星實驗系統及關鍵技術研究”項目順利結題，經過一年的努力，成功捕獲到鈉激光導星圖像，并可長期穩定地進行觀測實驗。 地球高層大氣約92km處分布著一層厚度為10km的鈉原子層，通過高性能激光激
長春光機所2012年修繕購置專項通過驗收
9月27日上午，中科院長春光學精密機械與物理研究所承擔的2012年修繕購置專項(以下簡稱“修購專項”)順利通過由中科院條件保障與財務局修購專項辦公室組織的現場驗收。長春光機所副所長張學軍及科研條件處、財務管理處等相關部門的負責人和工作人員參加了驗收會。 為了落實《國家中長期科學技術發展規劃
科技部調研組考察長春光機所
調研組參觀長春光機所空間大廳 7月22日，科技部國際合作司司長靳曉明、辦公廳副主任李桂華率調研組到長春光學精密機械與物理研究所參觀考察，受到長春光機所所長宣明等的熱烈歡迎。 在所期間，調研組重點參觀了長春光機所科技成果展、中科院光學系統先進制造技術重點實驗室和創新項目相關研究室。
長春光機所舉辦光機電專家系列講座
5月下旬，由長春光機所舉辦的“光機電專家系列講座”圓滿結束。系列講座從3月份開始，每周四舉辦，已成功舉辦了十余場，講座由長春光機所內各領域資深專家擔任主講，內容涵蓋光學、機械、電子等技術領域及其在大型光學設備中的應用等。專家們深入淺出地介紹了各自領域的基礎知識、基本原理、發展歷史、
長春光機所半導體激光點火技術取得技術突破
中科院長春光機所發光學及應用國家重點實驗室以單肖楠副研究員為負責人的半導體激光點火研究團隊，在王立軍院士的指導下，在激光點火光路檢測技術、微型透鏡金屬化整形技術、小體積集成化封裝技術等方面取得突破。 近日，該團隊繼2008年進行某系統研制以來，應用激光點火技術開展的某項目進行了激光點火地面聯
長春光機所又出新成果－全球首創“納米熒光炸彈”
近日，中科院長春光機所在國際上首次提出超級碳納米點的概念，并研制出基于超級碳納米點的水觸發“納米熒光炸彈”。復合該“納米熒光炸彈”的紙可以實現噴水熒光打印、指紋汗孔熒光采集等多種實際應用。 熒光成像可作為一種有效的技術方法，在數據存儲、數據安全和臨床診斷等領域具有重要應用。該方法很大程度上依賴
拒絕假陽性！長春光機所研制新型數字PCR系統
作為基因檢測的金標準，聚合酶鏈式反應(PCR)技術是一種重要的疾病檢測工具。目前，眾多疾病的臨床檢測均采用實時熒光PCR(RT-PCR)技術作為核心手段。但是，RT-PCR技術在靈敏度、檢測限、分析成本以及基層診斷疾控普及等方面也存在著諸多不足。 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學
華大基因擬與長春光機所合股開發基因測序儀
2016年3月10日，華大基因董事長汪建帶隊一行三人到長春光機所洽談合作事宜。 在長春光機所所長賈平研究員的陪同下，汪建董事長一行參觀了長春長光辰芯光電技術有限公司、長春光機所光學技術研發中心、長春光機所超精密光學工程研究中心、長春光機所光柵技術研發中心、發光學及應用國家重點實驗室
長春光機所光纖生物傳感器研究獲進展
近日，中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室研究員吳一輝課題組，基于光纖模式耦合特性，提出一種基于光纖耦合器的無標超高靈敏度生物傳感器，該研究對心肌梗塞、癌癥等生物標志物的檢測具有重要意義。 急性心肌梗塞(Acute myocardial infarction, AMI)
科技部副部長曹健林視察長春光機所
6月7日，國家科技部副部長曹健林一行到中科院長春光學精密機械與物理研究所視察某國家科技重大專項進展。 曹健林一行首先聽取了長春光機所所長宣明關于該所情況概述、發展思路、科研工作、實驗室建設、產業發展和研究生教育等六個方面進行的匯報，隨后詳細了解了由該所承擔的某國家科技重大專項的
長春光機所在紅外弱小目標處理研究中獲進展
近日，中國科學院長春光學精密機械與物理研究所針對紅外弱小目標超分辨率復原中出現的問題，對傳統POCS超分辨率復原算法進行了優化，提出了改進算法，提高了復原算法的性能，同時使其達到實時或接近實時，進而可以在實際紅外圖像處理系統中應用。研究成果對于紅外弱小目標識別與跟蹤發展具有重要現實意義。 隨著
長春光機所在納米光學吸收結構研究中取得進展
近日，中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室的吳一輝課題組為了解決納米吸收結構對于入射角度的影響，提出了一種新型的全向偏振無關吸收結構。相關研究成果發表在Optics Express（DOI：10.1364/OE.23.00A413）上。 由于超常吸收納米結構在光電探測
長春光機所研究成果獲國際化學領域認可
27日，記者從中科院長春光機所獲悉，該所發光學及應用國家重點實驗室李斌課題組自主設計了具有紅光發射的帶有正電荷的溴化乙錠有機單體，在國際上首次制備出帶電荷的有機二維多孔晶體骨架材料，該材料在有機半導體器件和光電傳感等領域有重要的應用前景。日前，這項研究成果發表在國際化學領域著名的期刊《美國化學會
長春光機所8300萬元國家重大儀器專項啟動
日前，由國家自然科學基金委員會支持、中科院長春光機所承擔的國家重大科研儀器設備研制專項——“1.5米掃描干涉場曝光系統”項目在長春市啟動。 該項目是長春光機所首次承擔的國家重大科研儀器設備研制專項，其目標是，通過干涉場步進掃描曝光方式，獲得具有國際先進水平的大面積、高精度全息光柵，進而滿足深空
日本筑波大學舛本泰章教授訪問長春光機所
日本筑波大學物理學系舛本泰章(Yasuaki Masumoto)教授應邀訪問中科院長春光學精密機械與物理研究所期間，分別于11月1日和2日作了題為New artificial atoms–isoelectronic traps in GaP:N和Spin physics in
長春光機所通過GJB5000A三級正式評價
2013年1月9日至15日，新時代認證中心組織評價組對中科院長春光學精密機械與物理研究所進行了為期7天的GJB5000A三級正式評價工作，針對長春光機所四個參評項目考察了GJB5000A三級17個關鍵過程域的336個關鍵實踐的實現程度。最終，長春光機所順利通過了GJB5000A 三級正式評價