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  •   電鏡是材料科學、生命科學、半導體工業、納米技術等領域不可或缺的分析工具。電子顯微鏡主要包括:掃描電鏡(SEM)和透射電鏡(TEM),還有一種分類把聚焦離子束(FIB-SEM)單獨分出來,但在本文的統計中,FIB-SEM算到掃描電鏡中進行統計。

      本文首先介紹了不同類型顯微鏡的工作原理、技術特點及明星品牌型號,然后梳理和統計了2025年1月至9月期間電子顯微鏡的中標情況。文章將重點分析電子顯微鏡的主流品牌和型號,如,賽默飛、蔡司、日立、國儀量子、日本電子JEOL等的中標占比情況。其次,從戰略布局、明星型號的技術特點,以及市場所呈現出的本土化突破、智能化普及與應用領域細分化等核心趨勢,為業內人士把脈電鏡市場未來發展提供參考。

    電子顯微鏡技術概述

    電子顯微鏡鏡分類及代表

      電子顯微鏡主要分為掃描電子顯微鏡(Scanning Electron Microscope,SEM)和透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope,TEM)。其中,聚焦離子束掃描電子顯微鏡(Focused Ions Beam Electron Microscope,FIB-SEM)歸納到SEM進行統計分析。這里,筆者分別介紹不同類型顯微鏡的工作原理、技術特點及主要的廠家型號。

      1、掃描電子顯微鏡(SEM)

      工作原理:

      聚焦電子束或離子束在樣品表面進行逐點掃描,通過同步探測每個點產生的信號(如二次電子、背散射電子)來構建圖像。

      技術特點:(1)主要觀察樣品表面的三維形貌;(2)樣品制備相對簡單,固體樣品可直接或簡單鍍膜后觀察;(3)景深大,圖像立體感強;(4)可搭配能譜儀進行元素分析。

      SEM可以分為三大類:(1)根據電子槍類型:分為鎢燈絲SEM、六硼化鑭SEM、場發射SEM;(2)根據應用環境:高真空SEM、低真空/環境SEM。

      代表廠家與型號:

      賽默飛Theroml Fisher:Apreo系列,特點是高端場發射,優異的低壓性能和穩定性;Verios系列,超高分辨率;Spectra系列,是國產化戰略型號。

      蔡司Zeiss:GeminiSEM系列:采用獨特的鏡筒內設計,在低電壓下仍能保持極高分辨率,是半導體行業標桿。

      日立HITACHI:SU3900/5000系列:經典型號,皮實耐用,教學和常規檢測主力。SU8600,超高分辨冷場發射掃描電鏡,招投標市場的寵兒。Regulus系列:高端冷場發射,對標Apreo和Gemini。

      國產品牌:國儀量子SEM5000系列,中科科儀 KYKY-EM8000系列。

      2、透射電子顯微鏡(TEM)

      工作原理:高能電子束穿透非常薄的樣品(通常<100 nm),透過樣品的電子攜帶了樣品內部的結構信息,經過電磁透鏡放大后成像。

      技術特點:(1)分辨率最高,可直接觀察原子像;(2)不僅能獲得形貌,還能獲得晶體結構、晶格缺陷、相位等信息;(3)樣品制備極其復雜,需要超薄切片、離子減薄或FIB制樣;(4)可進行選區電子衍射、高分辨成像、掃描透射等多種高級模式。

      TEM可以分為兩類:

      根據加速電壓:(1)常規TEM,電壓范圍:80-200 kV,適用于大部分材料科學和生物樣品;(2)中等電壓TEM,電壓范圍:200-300 kV,兼顧分辨率和穿透能力;(3)高壓TEM,電壓>300 KV,穿透能力更強,可用于更厚的樣品或原位實驗,但造價昂貴。

      根據球差校正技術:(1)非球差校正TEM,傳統TEM,分辨率受球差限制,一般在0.1-0.2 nm;(2)球差校正TEM,通過復雜的電磁透鏡校正球差,將信息分辨率提升至0.05 nm,是現代頂尖研究的核心工具。

      代表廠家與型號:

      賽默飛:Talos系列,高端分析型TEM,集成能譜,功能全面;Thermis系列,旗艦級球差校正TEM,最高分辨率水平;Tundra系列,性價比高的常規TEM。

      日本電子:JEM-F200,高端通用型TEM;JEM-ARM300F/ARM300F2系列,原子級分辨率球差校正TEM的經典之作。

      日立:HT7800系列,中端常規TEM,操作簡便;HF5000,200kV冷場發射TEM。

      有些資料會把聚焦離子束-掃描電子顯微鏡(FIB-SEM)算作電子顯微鏡的第三種類型。事實上,FIB-SEM由場發射電子束系統(FE-SEM)和離子束系統(FIB)組成,通過液態金屬離子源(如釤)產生高能離子束,實現材料加工;同時利用電子束進行高分辨率成像。FIB只是用來切割樣品的“手術刀”,最后的分析還是依賴SEM,所以,筆者認為,FIB-SEM本質上依然屬于SEM。

    不同類型電鏡的比較

      電鏡技術是一個高度復雜且不斷發展的領域。SEM主要揭示樣本材料的表面信息,到揭示內部原子世界的TEM,再到具備“手術刀”功能的FIB-SEM,不同的技術路徑滿足了從基礎檢測到前沿科學探索的廣泛需求。下邊列表對不同類型電鏡技術特點及應用領域進行比較分析,為大家了解、購買電鏡,提供了技術參考。

      

      

    2025年前三季電子顯微鏡招投標情況分析

    電子顯微鏡前三季度中標金額分析

      中國是全球最大的電鏡市場之一,高校、科研院所和企業對電鏡的需求持續增長。分析測試百科網統計了2025年前三季度電子顯微鏡招中標數量、金額。前三季,中標臺數總計186臺,中標金額為1,176,173,710元;其中SEM招標134臺,中標金額為474,872,646元;TEM招標52臺,中標金額為701,301,063元。統計期內有1臺SEM沒公布價格,所以在計算SEM和TEM的平均中標價格時,SEM以133臺計算,平均每臺價格為3,570,471元,而TEM的平均中標價格為13,486,558元,遠高于SEM。

    圖1 SEM和TEM中標數量及中標金額情況的比較

      電子顯微鏡價格昂貴,可以說是分析儀器領域最貴的設備之一了,國家機構、高校、科研院所、央企等采購一般會采用招標形式,但還有些生產企業、第三方檢測公司等不采用招標形式,甚至這個采購量并不低,所以這個11.7億元,依然不能完全代表2025年前三季度國內采購電子顯微鏡的總金額。

    電子顯微鏡的主要應用場景

       由圖2所示,電子顯微鏡的主要應用場景是高校,招標132次,占比高達73.74%;其次是科研院所,招標31次,占比17.32%;第三是企業,有6次招標,主要包括化工、能源、石油、鋼鐵等的生產或研究機構改企的大型國有企業;公共安全領域有4次招標,主要是公安部門或消防。醫院、文化藝術(博物館)、軍隊、第三方檢測也有招標。

      圖2 2025年前三季度不同行業領域在電子顯微鏡的招標占比情況

    電子顯微鏡招標的主要區域分布

       2025年前三季共有25個省、自治區、直轄市有電子顯微鏡的招標(見圖2),共招標176次,其中廣東、江蘇、北京招標次數最多。因為電鏡昂貴的價格,加上采購單位主要集中在高校和科研院所,所以電鏡招標主要是在科研實力強或發展速度快的地區。

      圖3 2025年前三季不同地域招標數量情況

    電鏡企業中標情況分析

    不同品牌電鏡中標數量占比情況

    不同品牌電鏡中標總量占比情況

      2025年前三季共有19個品牌(廠家)中標,分析測試百科網統計了每個品牌的中標數量/占比及中標金額情況。

      首先,先向大家介紹電鏡中標數量及占比情況,這里中標數量包括SEM和TEM,后續再進一步細化統計。根據圖3,賽默飛以中標45臺位居電鏡中標數量榜首,占前三季中標臺數的26.32%;日立以中標38臺,占比22.22%位居第二;國產品牌國儀量子中標26臺,位居第三,蔡司緊隨其后,以22臺位居第四;日本電子位居第五。

    圖4 2025年前三季不同品牌電鏡中標臺數及占比

    不同品牌的掃描電鏡(SEM)中標數量占比情況

      圖4是對每個品牌電鏡中標臺數的分析,沒有細分為SEM或TEM。為了更全面了解不同品牌的優勢和市場占有率,圖5做了進一步細分。共有16個品牌的SEM中標,中標主力品牌包括:國儀量子中標26臺,占比20.31%,位居SEM中標數量榜首;日立中標24臺,占比18.75%,占比第二;蔡司以22臺中標位居第三,賽默緊隨其后,中標21臺位居第四。在SEM的統計中,有6臺未知品牌中標。

    圖5 2025年前三季不同品牌SEM中標臺數及占比

    不同品牌的透射電鏡(TEM)中標數量占比情況

      相比SEM,擁有TEM的廠商并不多。2025年前三季度TEM中標統計顯示,只有6個TEM品牌中標。其中賽默飛以中標25臺絕對優勢,位居TEM中標數量榜首,占比高達49.02%;日立以中標14臺,占比27.45%位居第二,日本電子位居第三。更多詳情見圖6。

      圖6 2025年前三季不同品牌TEM中標臺數及占比

    不同品牌電鏡中標金額情況

    不同品牌電鏡中標總金額數量

      除了中標臺數,電鏡中標總金額也是本文關注的重點。

      圖7 2025年前三季度不同品牌銷售金額數量(單位:元)

      根據圖7,賽默飛中標金額591,093,891元,占2025年前三季國內招標金額的50.26%,可以說占據了半壁江山。日立中標金額184,786,814元,占比15.71%,位居第二;蔡司和日本電子分別以101,798,824元和101,016,170元位居第三、第四;國儀量子以57,415,248元位居第五,另有未知型號中標55,225,753元。

    不同品牌掃描電鏡(SEM)中標金額情況

      為了更清楚的了解每個品牌電鏡的中標金額數量及占比情況,在統計電鏡中標總金額的基礎上,分析測試百科網對不同品牌SEM和TEM的中標金額分別進行分析。

      圖8所示,2025年前三季SEM中標金額統計顯示,賽默飛和蔡司均超過1億元,分別以102,838,729元和101,798,824元位居第一和第二,日立以92,921,514元位居第三,國儀量子雖然SEM中標數量最多,但因儀器價格低于進口品牌,所以中標金額以57,415,248元位居第四。

      圖8 2025年前三季度不同品牌SEM中標金額(單位:元)情況

    不同品牌透射電鏡(TEM)中標總金額數量及占比情況

      根據圖9,賽默飛TEM在該細分領域占優勢地位,以488,455,093元中標金額穩居榜首,日立和日本電子分別位居第二和第三。

    圖9 2025年前三季度不同品牌TEM中標金額(單位:元)情況

    電鏡的明星品牌和型號

      分析測試百科網在對電鏡中標情況的統計中顯示,2025年前三季度共有19個品牌、75個型號中標,其中SEM有64個型號,TEM有14個型號。

    掃描電鏡(SEM)的明星品牌和型號

      表2對SEM的明星型號進行了總結,中標數量前三甲的明星型號分別是日立SU8600、蔡司的GeminiSEM 560和EVO 10,此外,國儀量子的SEM5000pro和SEM5000X、蔡司Sigma 360的也是深受客戶喜歡的型號。更多明星型號詳情見表2。

      表2同時列出了SEM明星型號的中標總金額和單臺平均中標金額,其中中標金額最高的是日立SU8600,中標金額達79,698,514元,而蔡司的GeminiSEM 560中標均價5,815,914元/臺,是SEM中標均價最高的型號;此外,蔡司GeminiSEM 360和賽默飛Apreo 2S HiVac中標單價均突破了500萬。根據表2,賽默飛在SEM細分領域并不是很突出,但中標金額卻排名第一(圖8),主要因為賽默飛電鏡的品類多,中標的SEM有13個品類,可以滿足更多應用場景。

    透射電鏡(TEM)的明星品牌和型號

      透射電鏡技術含量高,價格昂貴,全球能夠生產高質量透射電鏡的廠家并不多。根據表3,日立HT7800和賽默飛Talos F200X G2和Spectra 300、日本電子的JEM-F200都屬于受歡迎的品牌型號。其中中標金額最高的是賽默飛的Spectra 300,高達154,888,700元,中標均價25814783元/臺。

      

    電鏡的“細分龍頭”產品

      賽默飛(FEI)擁有品類齊全的電子顯微鏡,滿足不同的應用場景。這里需要強調的是,百科網經過分析和市場調研,賽默飛Talos?12 TEM被確定為2025年細分龍頭產品。Talos?12 TEM一經問世,就展現出卓越的性能。

      關于細分龍頭,筆者這里再啰嗦幾句:細分龍頭是分析測試百科網于2022年推出的、針對細分品類頭部品牌或型號的宣傳推廣活動,從第三方角度,為用戶和生產企業之間搭建一個便捷的橋梁。

    2025年度電鏡市場趨勢洞察

      1、“國產替代”進入深水區:從“有沒有”到“好不好”,國產電鏡不再是價格低廉的代名詞,而是在可靠性、穩定性和核心指標上向國際品牌看齊,政策扶持下的市場準入機會大增。

      2、智能化與自動化成為標配:AI驅動的圖像識別、自動顆粒分析、一鍵式工作流等智能功能,已從“錦上添花”變為“雪中送炭”。具備能顯著提升科研效率和降低操作門檻的電鏡型號,更受用戶歡迎。

      3、應用場景驅動技術細分:

      市場不再滿足于“萬能”的電鏡,而是需要針對特定應用優化的解決方案。例如,針對電池材料、地質樣品、腦科學等專門優化的電鏡配置和工作流,成為品牌差異化競爭的關鍵。

      4、“關聯顯微”與“原位技術”持續升溫:

      將電鏡與光學、光譜、力學、熱學等外部刺激相結合的原位樣品桿,以及關聯顯微成像方案,成為高端招標項目中的常見技術要求,代表了未來科研范式的發展方向。

    電子顯微鏡的本土化

    電鏡的本土化需求

      國內電鏡市場長期被國外品牌壟斷。在復雜的國際形勢下,存在“卡脖子”風險。本土化可以確保關鍵科研機構和重點產業能夠穩定獲得和維護這些關鍵設備。我國政府在“十四五”規劃等國家戰略中,將高端科學儀器作為重點突破方向,通過國家重點研發計劃、專項基金等方式提供強有力的政策和資金支持。

      中國是全球最大的電鏡市場之一,高校、科研院所和企業等對電鏡的需求在持續增長。進口電鏡價格昂貴,從幾十萬到幾千萬人民幣不等,而且后期維護、配件和升級費用高。本土化可以降低采購成本、維護成本和售后服務響應時間,更深入地理解中國客戶的特殊需求,提供定制化的解決方案和更快捷的技術支持、培訓和維修服務。

    本土化的層次與現狀

      本土化不是一個“有或無”的問題,而是一個程度問題,可以分成幾個層次:

      生產與組裝本土化:這是最常見的初步本土化形式。許多外資企業為了降低成本、規避關稅,已在中國設立組裝廠或生產線,例如賽默飛、蔡司等。將部分標準型號的電鏡在中國進行最終組裝、測試和包裝。但核心部件(如電子槍、探測器)仍依賴進口。

      研發與設計本土化:這是國外品牌快速發展的本土化方式,在中國設立了研發中心,利用本地人才研發。更重要的是,一批本土電鏡企業,如國儀量子、中科科儀等正在崛起,但在最高端的場發射電鏡、透射電鏡方面,與國際頂尖水平仍有差距,特別是在電子槍亮度、穩定性、圖像分辨率等核心指標上。

      供應鏈與核心部件本土化:這是最艱難、也是最關鍵的一環。核心部件包括(1)電子槍:場發射槍的燈絲(單晶鎢、六硼化鑭等)技術壁壘極高;(2)探測器:如ETD探測器、BSD探測器等;(3)高壓電源和透鏡電源:要求極高的穩定度;(4)精密加工與特殊材料:鏡筒、光闌、樣品臺等需要極高的加工精度和特殊的無磁材料。

      國內已有部分企業在特定部件上取得突破,但整體產業鏈的成熟度和可靠性仍需時間積累。

    “本土化”面臨的挑戰

      電鏡是集電子光學、精密機械、真空技術、高壓控制、數字成像和軟件算法于一體的復雜系統,需要長期的技術沉淀和積累。而現實是,國內缺乏既懂理論又能動手的復合型高端研發人才和應用專家。科研用戶傾向于選擇性能穩定、有長期口碑的國際品牌,本土品牌需要時間來建立市場信任。我國高端精密制造、特殊材料等基礎工業水平直接決定了電鏡的性能上限。

      電鏡企業的本土化是一場攻堅戰和持久戰。目前正處在從 “組裝制造” 向 “研發創新” 和 “核心部件突破” 邁進的關鍵階段。雖然前路挑戰重重,但在巨大的市場需求、明確的國家意志和一批有活力的本土企業的共同推動下,中國電鏡產業的自主化程度必將穩步提升,未來有望在全球高端電鏡市場中占據一席之地。

    招投標市場總結與展望

      2025年前三季度的電鏡市場,是一場技術、策略與政策綜合較量的縮影。賽默飛、日立、蔡司三大巨頭憑借其深厚的技術積淀和全面的產品線,依然占據主導地位,但競爭焦點已從單純的硬件參數,轉向了解決方案的完整性、軟件的智能化程度與售后服務的本土化水平。

      展望未來,隨著人工智能、量子計算等新技術的賦能,以及中國在科研投入上的持續加碼,電鏡市場將呈現以下趨勢:數據驅動:電鏡將從“成像工具”演變為“數據發生器”,與云平臺和大數據分析的結合將更加緊密。極限性能:追求更高分辨率、更快速度、更極端環境下的原位分析能力仍是永恒的主題。生態競爭:品牌的競爭將不僅是單臺設備的競爭,更是其構建的從制樣、成像到數據分析的整個科研生態系統的競爭。國產品牌若能抓住這一輪技術變革的機遇,在核心部件和智能軟件上實現突破,有望在未來三到五年內,在中高端市場與國際品牌形成真正的“分庭抗禮”之勢。


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