掃描電子顯微鏡的結構探測器系統
掃描電鏡除了需要高質量的電子束，還需要高質量的探測器。上一章中已經詳細講述了各種信號和襯度的關系，所以電鏡需要各種信號收集和處理系統，用于區分和采集二次電子和背散射電子，并將SE、BSE產額信號進行放大和調制，轉變為直觀的圖像。不同廠商以及不同型號的電鏡在收集SE、BSE的探測器上都有各自獨特的技術，不過旁置式電子探測器和極靴下背散射電子檢測器卻較為普遍，獲得了廣泛的應用。 1. 旁置式電子探測器（ETD） ① ETD的結構和原理 旁置式電子探測器幾乎是任意掃描電鏡（部分臺式電鏡除外）都具備的探測器，不過其名稱叫法很多，有的稱為二次電子探測器（SE）、有的稱為下位式探測器（SEL）等。雖然名稱不同，但其工作原理幾乎完全一致。這里我們將其統一稱為Everhart Thornley電子探測器，簡稱為ETD。 二次電子能量較小，很容易受到其它電場的影響而產生偏轉，利用二次電子的這個特性可以對它進行區分和收集，如圖3-25。在探......閱讀全文
掃描電子顯微鏡的結構 - 探測器系統
掃描電鏡除了需要高質量的電子束，還需要高質量的探測器。上一章中已經詳細講述了各種信號和襯度的關系，所以電鏡需要各種信號收集和處理系統，用于區分和采集二次電子和背散射電子，并將SE、BSE產額信號進行放大和調制，轉變為直觀的圖像。不同廠商以及不同型號的電鏡在收集SE、BSE的探測器上都有各自獨特的技術
掃描電子顯微鏡的結構 - 電子光學系統
掃描電子顯微鏡主要由電子光學系統、信號收集處理系統、真空系統、圖像處理顯示和記錄系統、樣品室樣品臺、電源系統和計算機控制系統等組成。 電子光學系統 電子光學系統主要是給掃描電鏡提供一定能量可控的并且有足夠強度的，束斑大小可調節的，掃描范圍可根據需要選擇的，形狀完美對稱的，并且穩定的電子束。 電
掃描電子顯微鏡的結構(一) - 電子光學系統
掃描電子顯微鏡主要由電子光學系統、信號收集處理系統、真空系統、圖像處理顯示和記錄系統、樣品室樣品臺、電源系統和計算機控制系統等組成。第一節? 電子光學系統電子光學系統主要是給掃描電鏡提供一定能量可控的并且有足夠強度的，束斑大小可調節的，掃描范圍可根據需要選擇的，形狀完美對稱的，并且穩定的電子束。電子
掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10m m的電子束，并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。高能電子
環境掃描電子顯微鏡的結構
? 環境掃描電子顯微鏡在普通掃描電鏡的基礎上環掃實現較高的低真空，其核心技術就是采用兩級壓差光柵和氣體二次電子探測器，還有一些其它相關技術也相繼得到完善。 環境掃描電子顯微鏡是使用1個分子泵和2個機械泵，2個壓差(壓力限制)光柵將主體分成3個抽氣區，鏡筒處于高真空，樣品周圍為環境狀態，樣品室、光路
掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10m m的電子束，并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。高能電子
掃描電子顯微鏡的主要結構
掃描電子顯微鏡的主要結構1.電子光學系統：電子槍；聚光鏡（*、第二聚光鏡和物鏡）；物鏡光闌。2.掃描系統：掃描信號發生器；掃描放大控制器；掃描偏轉線圈。3.信號探測放大系統：探測二次電子、背散射電子等電子信號。4.圖象顯示和記錄系統：早期SEM采用顯象管、照相機等。數字式SEM采用電腦系統進行圖象顯
掃描電子顯微鏡的原理結構
?? 掃描電鏡（SEM）是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段，可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。? ? 掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成
掃描電子顯微鏡的原理結構
掃描電子顯微鏡具有由三極電子槍發出的電子束經柵極靜電聚焦后成為直徑為50mm的電光源。在2-30KV的加速電壓下，經過2-3個電磁透鏡所組成的電子光學系統，電子束會聚成孔徑角較小，束斑為5-10m m的電子束，并在試樣表面聚焦。 末級透鏡上邊裝有掃描線圈，在它的作用下，電子束在試樣表面掃描。高能電子
掃描電子顯微鏡基本結構
1-鏡筒;2-樣品室;3-EDS探測器;4-監控器;5-EBSD探測器;6-計算機主機;7-開機/待機/關機按鈕;8-底座;9-WDS探測器。