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X射線光電子能譜（XPS）也被稱作化學分析電子能譜（ESCA）。該方法首先是在六十年代由瑞典科學家K.Siebabn 教授發展起來的。這種能譜最初是被用來進行化學元素的定性分析，現在已發展為表面元素定性、半定量分析及元素化學價態分析的重要手段。此外，配合離子束剝離技術和變角XPS技術，還可以進行薄膜材料的深度分析和界面分析。 因此，XPS方法可廣泛應用于化學化工，材料，機械，電子材料等領域。......閱讀全文
X射線光電子能譜（XPS）也被稱作化學分析電子能譜（ESCA）。該方法首先是在六十年代由瑞典科學家K.Siebabn 教授發展起來的。這種能譜最初是被用來進行化學元素的定性分析，現在已發展為表面元素定性、半定量分析及元素化學價態分析的重要手段。此外，配合離子束剝離技術和變角XPS技術，還可以進行
XPS：X射線光電子能譜分析(XPS, X-ray photoelectron spectroscopy)測試的是物體表面10納米左右的物質的價態和元素含量，而EDS不能測價態，且測試的深度為幾十納米到幾微米，基本上只能定性分析，不好做定量分析表面的元素含量。?原理：用X射線去輻射樣品，使原子或分子
XPS是重要的表面分析技術之一，是由瑞典Kai M. Siegbahn教授領導的研究小組創立的，并于1954年研制出世界上第一臺光電子能譜儀，1981 年，研制出高分辨率電子能譜儀。他在1981年獲得了諾貝爾物理學獎。
XPS的原理是用X射線去輻射樣品，使原子或分子的內層電子或價電子受激發射出來。被光子激發出來的電子稱為光電子。可以測量光電子的能量，以光電子的動能/束縛能bindingenergy,(Eb=hv光能量-Ek動能-W功函數)為橫坐標，相對強度(脈沖/s)為縱坐標可做出光電子能譜圖。從而獲得待測物組成
XPS儀器設計與最早期的實驗儀器相比,有了非常明顯的進展,但是所有的現代XPS儀器都基于相同的構造:進樣室、超高真空系統、X射線激發源、離子源、電子能量分析器、檢測器系統、荷電中和系統及計算機數據采集和處理系統等組成。這些部件都包含在一個超高真空(Ultra High Vacuum,簡稱為UHV)封
X射線源是用Al或Mg作陽極的X射線管。 它們的光子能量分別是1486 eV和1254 eV 。 安裝過濾器(或稱單色器)是為了減小光子能量分散。X射線光電子能譜儀(系統)結構原理離子槍的作用一方面是為了濺射清除樣品表面污染,以便得到清潔表面,從而提高其分析的準確性。另一 方面,可以對樣品進行濺射剝
X射線源超高真空不銹鋼艙室及超高真空泵電子收集透鏡電子能量分析儀μ合金磁場屏蔽電子探測系統適度真空的樣品艙室樣品支架樣品臺樣品臺操控裝置
1887年，海因里希·魯道夫·赫茲發現了光電效應，1905年，愛因斯坦解釋了該現象（并為此獲得了1921年的諾貝爾物理學獎）。兩年后的1907年，P.D. Innes用倫琴管、亥姆霍茲線圈、磁場半球（電子能量分析儀）和照像平版做實驗來記錄寬帶發射電子和速度的函數關系，他的實驗事實上記錄了人類第一條X
一、XPS的歷史X?射線光電子能譜(XPS)也被稱作化學分析電子能譜(ESCA)。該方法首先是在六十年代由瑞典科學家K.Siebabn?教授發展起來的。這種能譜最初是被用來進行化學元素的定性分析,現在已發展為表面元素定性、半定量分析及元素化學價態分析的重要手段。此外,配合離子束剝離技術和變角XPS?
一、超高真空系統超高真空系統是進行現代表面分析及研究的主要部分。XPS譜儀的激發源,樣品分析室及探測器等都安裝在超高真空系統中。通常超高真空系統的真空室由不銹鋼材料制成,真空度優于1×10-9?托。在X射線光電子能譜儀中必須采用超高真空系統,原因是(1)使樣品室和分析器保持一定的真空度,減少電子在運