X熒光光譜儀的原理

    X射線是一種電磁波，波長比紫外線還要短，為0.001- 10nm左右。X射線照射到物質上面以后，從物質上主要可以觀測到以下三種X射線。熒光X射線、散射X射線、透過X射線，Atomray CX-5500產品使用的是通過對第一種熒光X射線的測定，從物質中獲取元素信息（成分和膜厚）的熒光X射線法原理。物質受到X射線的照射時，發生元素所固有的X射線（固有X射線或者特征X射線）。熒光X射線裝置就是通過對該X射線的檢測而獲取元素信息。

    原理：高能粒子（電子或連續X射線等）與靶材料碰撞時，將靶原子內層電子（如K，L，M等層）逐出成為光電子，原子便出現一個空穴，此時原子處于激發態，隨即較外層電子立即躍遷到能量較低的內層空軌道上，填補空穴位。若此時以X射線的形式輻射多余能量，便是特征X射線。當K層電子被逐出后，所有外層電子都可能跳回到K層空穴便形成K系特征X射線。由L，M，N…層躍遷到K層的X光分別為Kα，Kβ，Kγ…輻射。同樣地，逐出L或M層電子后將有相應的L系或M系特征X射線：Lα，Lβ…；Mα，Mβ…。Kα，Kβ輻射的波長λ是特征的，它取決于K，L，M電子能層的能量： 可以看出，不同元素由于原子結構不同，各電子層的能量不同，所以它們的特征X射線波長也就各不相同。通常人們將X光管所產生的X射線稱為初級X射線。以初級X射線為激發光源照射試樣，激發態試樣所釋放的能量不為原子內部吸收而以輻射形式發出次級X射線，這便是X射線熒光由于各種元素發射具有特定波長（或能量）的標識X射線,可利用鋰漂移、硅半導體等不同探測器及能譜分析儀來確定元素的種類。而標識譜線強度可用來確定元素含量。