關于光電子能譜的儀器組成介紹

　　光電子能譜儀主要由6個部分組成：激發源、樣品電離室、電子能量分析器、電子檢測器、真空系統和數據處理系統等組成。激發源常用紫外輻射源和 X射線源。使用紫外輻射源作為激發源的稱為紫外光電子能譜,使用X射線的稱為X 射線光電子能譜，統稱為光電子能譜。

　　（1）真空系統：目的是使電子不被殘余氣體分子散射，并避免殘余氣體分子吸附所引起的樣品表面污染。一般在實驗中，氣體壓力1.33*10-7Pa 是可以接受的。現成的抽氣系統有：帶液氮冷阱的水冷油擴散泵，渦輪分子泵，濺射離子泵，鈦升華泵，低溫泵。前三類泵常常用于主抽氣系統，其余的往往充當輔泵。以這種方式抽空并經100~160Co； 條件下烘烤一夜的系統，可獲得1.33*10-8 乃至更低一些的基壓。并且，這套系統日常還需要做定期的烘烤。

　　（2）樣品處理部分：包括有三個真空室，第一個真空室用于進出樣品，第二個起真空緩沖作用，并在其內部作樣品的制備和處理，樣品在第三個真空室里被X 射線照射得到光電子。

　　（3）X射線源：熱燈絲發射出電子，經電場加速，轟擊陽極靶（通常為Al 或Mg），發出X 射線（Al 的特征譜線為1486.6ev，Mg 的特征譜線為1253.6ev），這樣的X 射線是由多種頻率的X 射線疊加而成的。實驗中常常使用石英晶體單色器，將得到的X 射線單色化。

　　（4）電子能量分析器：作用是測量由樣品表面發射出來的能量分布，所得光電子譜是一

　　幅電子流強度相對于動能的圖。

　　（5）檢測器