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真空系統能夠使離子源、質量分析器和檢測器在低氣壓狀態下工作，待測離子不會因與殘存氣體分子發生碰撞而散射，有利于分辨率和靈敏度的提高。 常用旋片式機械泵、渦輪分子泵和鈦離子泵串聯組成真空系統，使離子源區氣壓約為10-3~10-5Pa,分析器區氣壓約為10-4~10-Pa,檢測器區氣壓為10-10-2Pa以上。 為防止殘存有機物和反油污染離子源和分析室，在前級機械泵與渦輪分子泵接口處、離子源與分析室接口處設置液氮冷阱。亦可用旋片式機械泵和油擴散泵(加去除烴分子的捕集器)串聯組成抽真空系統，并在油擴散泵與質譜儀之間加可自動控制的隔板，一旦停電隔板將自動關閉，既可防止反油污染質譜儀，又可維持質譜儀的真空在一定時間內變化不大。 1）油擴散泵優點：價格便宜、使用壽命長。缺點：抽速慢、耗時長，往往需要一小時以上才能達到所需要的真空要求。 2）渦輪分子泵優點：僅需十幾分鐘就可以達到所需的真空度，既無反油危......閱讀全文
真空系統能夠使離子源、質量分析器和檢測器在低氣壓狀態下工作，待測離子不會因與殘存氣體分子發生碰撞而散射，有利于分辨率和靈敏度的提高。?常用旋片式機械泵、渦輪分子泵和鈦離子泵串聯組成真空系統，使離子源區氣壓約為10-3~10-5Pa,分析器區氣壓約為10-4~10-Pa,檢測器區氣壓為10-10-2P
質譜儀器真空系統主要包含如下一些部件:真空泵、真空計和真空閥。1.真空泵真空泵是獲得真空的設備。市場上真空泵種類很多簡單地可將其劃分為低真空泵和高真空泵兩大類。低真空泵又稱前級真空泵，既可用于真空腔室的預抽真空，又可作為高真空泵的前級泵提供高真空泵正常工作所需要的前級真空；高真空泵包括擴散泵、渦輪分
（1）低真空泵???質譜儀器中的低真空泵有兩個用途。一是作為高真空泵——擴散泵或分子泵的前級泵，提供高真空泵正常工作所需要的前級真空；二是預抽真空，為直接進樣系統、間接進樣系統以及離子源或整個儀器暴露大氣后預抽真空，色質聯用時也用于分子分離器抽低真空。由于機械泵的運用范圍是從大氣壓開始，所以適合于作
真空的獲得（1）低真空泵???質譜儀器中的低真空泵有兩個用途。一是作為高真空泵——擴散泵或分子泵的前級泵，提供高真空泵正常工作所需要的前級真空；二是預抽真空，為直接進樣系統、間接進樣系統以及離子源或整個儀器暴露大氣后預抽真空，色質聯用時也用于分子分離器抽低真空。由于機械泵的運用范圍是從大氣壓開始，所
真空系統是質譜儀的重要組成部分，通常情況下質譜儀的離子源、質量分析器和離子檢測器都需要在高真空下工作。如果質譜儀的離子光學系統內部不是一個良好真空狀態，離子在運動過程中就會和真空室內的殘留氣體分子頻繁地發生碰撞，顯著降低儀器的分析靈敏度，并產生一系列的干擾效應，使質譜分析復雜化，造成背景增高、分析誤
質譜儀器必須在良好的真空條件下才能正常操作，一般要求質量分析器的真空優于pa。質譜儀器所檢測的離子必須要有較大的自由程才可以到達檢測器，其他氣體成分也可能與離子發生反應影響檢測，在質譜儀中工作的部件（如離子源燈絲、較密排布的高壓極板）需要在高真空下才能穩定工作。因此，質譜儀中的部件需要一個真空環境進
質譜分析法主要是通過對樣品離子質荷比的分析而實現對樣品進行定性和定量的一種分析方法，實現質譜分析的儀器稱為質譜儀器。一臺質譜儀器通常可分為進樣系統、離子源、質量分析器、離子檢測器、數據處理系統、真空系統等幾大部分，如圖2-1所示。進樣系統按要求把需要分析的樣品裝入或送入離子源。離子源是用來使樣品通過
質譜儀中離子檢測器用于檢測和記錄離子流的強度。無機和同位素質譜的離子檢測器通常有法拉第杯、分離打拿極電子倍增器、通道式電子倍增器、微通道板以及閃爍光電倍增器（Daly）等，加速器質譜中還可能用到對離子能量敏感的探測器。在這些探測器中，法拉第杯直接收集離子的電荷，結合其對二次電子逸出的抑制，其線性動態
電子倍增器是一個能高倍放大微弱離子信號的檢測器件。按打拿極的排列方式區分，有分離打拿極式電子倍增器和通道式電子倍增器（CEM）。圖2（a）為分離打拿極式電子倍增器的結構示意。當進入電子倍增器的離子轟擊第一個電子打拿極（倍增器電極）后，會激發出大量的二次電子，這些電子在電場的作用下會加速繼續轟擊第二個
四極桿質譜儀自20世紀50年代問世以來，目前已成為最主要的質量分析器之一，其體積小、結構簡單、造價低廉，且性能相對優秀。對于一般用途而言，其價值和性能都具有較為明顯的優勢。早期的四極桿質譜儀最大的限制在于其小的質量范圍，一般在幾百以內，但如今新一代儀器的質量分析范圍已經可以較為普遍地達到3000，甚