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真空系統是質譜儀的重要組成部分，通常情況下質譜儀的離子源、質量分析器和離子檢測器都需要在高真空下工作。如果質譜儀的離子光學系統內部不是一個良好真空狀態，離子在運動過程中就會和真空室內的殘留氣體分子頻繁地發生碰撞，顯著降低儀器的分析靈敏度，并產生一系列的干擾效應，使質譜分析復雜化，造成背景增高、分析誤差增大。當真空度變得很差時，還會引起系統內電極之間相互放電或對地放電，使分析無法進行，嚴重時會損壞儀器的離子光學及電子學部件。因此說真空系統運行的好壞對質譜儀非常重要，不僅直接影響儀器的靈敏度和分析精度，還會間接影響儀器的使用壽命。如果真空系統出現故障，整臺設備都會隨之停止運轉。......閱讀全文
真空系統是質譜儀的重要組成部分，通常情況下質譜儀的離子源、質量分析器和離子檢測器都需要在高真空下工作。如果質譜儀的離子光學系統內部不是一個良好真空狀態，離子在運動過程中就會和真空室內的殘留氣體分子頻繁地發生碰撞，顯著降低儀器的分析靈敏度，并產生一系列的干擾效應，使質譜分析復雜化，造成背景增高、分析誤
質譜儀器必須在良好的真空條件下才能正常操作，一般要求質量分析器的真空優于pa。質譜儀器所檢測的離子必須要有較大的自由程才可以到達檢測器，其他氣體成分也可能與離子發生反應影響檢測，在質譜儀中工作的部件（如離子源燈絲、較密排布的高壓極板）需要在高真空下才能穩定工作。因此，質譜儀中的部件需要一個真空環境進
真空系統能夠使離子源、質量分析器和檢測器在低氣壓狀態下工作，待測離子不會因與殘存氣體分子發生碰撞而散射，有利于分辨率和靈敏度的提高。?常用旋片式機械泵、渦輪分子泵和鈦離子泵串聯組成真空系統，使離子源區氣壓約為10-3~10-5Pa,分析器區氣壓約為10-4~10-Pa,檢測器區氣壓為10-10-2P
真空獲得的主要裝置是各種類型的真空泵，而不同類型的真空計則負責真空腔體內的真空測量。根據各類質譜儀器對真空的需求程度，可選擇不同類型的真空泵、真空計、真空閥門及相應的電子學控制部件，這些部件和質譜儀的真空室組合成一個完整的真空系統，使質譜儀器能夠獲得其所需要的真空度，圖1為熱離子質譜儀的一個真空系統
質譜儀器的真空要求質譜儀器必須在良好的真空條件下才能正常操作，一般要求質量分析器的真空優于10-4pa。質譜儀器所檢測的離子必須要有較大的自由程才可以到達檢測器，其他氣體成分也可能與離子發生反應影響檢測，在質譜儀中工作的部件（如離子源燈絲、較密排布的高壓極板）需要在高真空下才能穩定工作。因此，質譜儀
質譜儀器真空系統主要包含如下一些部件:真空泵、真空計和真空閥。1.真空泵真空泵是獲得真空的設備。市場上真空泵種類很多簡單地可將其劃分為低真空泵和高真空泵兩大類。低真空泵又稱前級真空泵，既可用于真空腔室的預抽真空，又可作為高真空泵的前級泵提供高真空泵正常工作所需要的前級真空；高真空泵包括擴散泵、渦輪分
（1）低真空泵???質譜儀器中的低真空泵有兩個用途。一是作為高真空泵——擴散泵或分子泵的前級泵，提供高真空泵正常工作所需要的前級真空；二是預抽真空，為直接進樣系統、間接進樣系統以及離子源或整個儀器暴露大氣后預抽真空，色質聯用時也用于分子分離器抽低真空。由于機械泵的運用范圍是從大氣壓開始，所以適合于作
質譜分析應用很廣，適用不同分析目的和要求的質譜儀器種類繁多，造成儀器的分類也比較復雜，沒有一個統一標準。傳統的分類方法基本上是根據儀器的用途或儀器核心部件的類型等進行劃分。根據儀器用途，可將質譜儀器分為有機質譜儀、無機質譜儀和同位素質譜儀。根據儀器的核心部件（如離子源或質量分析器）的類型進行分類，可
電子倍增器20世紀80年代早期首次研發出ICP-MS后，科學家設計使用了多種不同的離子檢測系統，其中以用于低計數率的電子倍增器及高計數率的法拉第杯應用最為廣泛。電子倍增器使用多個獨立的打拿極將光子轉換為電子。
質譜儀的質量分析器位于離子源和檢測器之間，它的功能是利用不同方式將樣品離子按質量大小分開。質量分析器的主要類型有磁式質量分析器、雙聚焦質量分析器、飛行時間質量分析器、四極濾質器（即四極桿）等。質量分析器是質譜儀器的主體部分。一個理想的質量分析器應具備分辨率高、質量范圍寬、分析速度快、傳輸效率高及無“