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  • 發布時間:2018-06-30 16:02 原文鏈接: TEM制樣聚焦離子束法

    聚焦離子束法


    適用于半導體器件的線路修復和精確切割。


    聚焦離子束系統(FIB),利用源自液態金屬鎵的離子束來制備樣品。


    通過調整束流強度,FIB可以對樣品的指定區域進行快速和極精細的加工。其匯聚掃描方式可以是矩形、線形或點狀。FIB可以制備供掃描透射電鏡觀測用的各種材料的薄膜樣品。


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