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內容說明本發明涉及集成電路制造領域，特別涉及一種多個傳感器間相互位置關系校準方法。發明背景投影掃描式(TFT)光刻機的目的是把掩模上圖形清晰、正確地成像在涂有光刻膠的基板上，隨著基板尺寸的增大，掩模、基板的形變會對套刻結果產生很大的影響，因此必須在掩模或基板上布置更多的標記。為了提高產率，現提出一種曝光裝置，該裝置包括：照明系統1，掩模2、掩模臺3、基板對準系統4、物鏡陣列5、曝光場6、基板7以及工件臺8。該光刻機系統工作時，照明系統1通過物鏡陣列5將掩模2上的圖像成像到基板7的每個曝光場6上，通過工件臺8與掩模臺3同步運動完成掃描曝光動作。掩模臺3承載掩模2運動、工件臺8承載基板7運動，工件臺測量系統和掩模臺測量系統分別測量工件臺8和掩模臺3的位置。為了完成物鏡陣列5的鏡頭拼接，需要采用多個掩模對準傳感器同時執行掩模對準的方案。然而，由于掩模對準傳感器、基板對準傳感器相對于工件臺8或者整機框架會發生熱漂移，如果再運用原先的傳感......閱讀全文
巴魯夫磁敏傳感器BMF00LC工作原理 上海譜瑞特工業自動化設備有限公司竭誠為您服務，本公司所在的集團在歐美多個國際設有分公司，于廠家關系非常和諧，可以去廠家直接拿貨，保證貨物質量和貨期，優惠的價格是我們的宗旨，良好的服務、給所有的客戶解決問題是我們的追求，歡迎與我們合作！德國Busch普
周圍環境狀態感知測距模塊這里列舉五個常用的測距模塊：超聲波、紅外TOF、激光、毫米波雷達、深度感知攝像頭。五個常用的測距模塊超聲波和紅外TOF各方面性能比較相似，比如測量距離都比較近，像超聲波測量的距離一般在4米左右。另外這兩種傳感器的使用范圍都容易受到實際環境的限制，比如紅外TOF是向被測
周圍環境狀態感知測距模塊這里列舉五個常用的測距模塊：超聲波、紅外TOF、激光、毫米波雷達、深度感知攝像頭。超聲波和紅外TOF各方面性能比較相似，比如測量距離都比較近，像超聲波測量的距離一般在4米左右。另外這兩種傳感器的使用范圍都容易受到實際環境的限制，比如紅外TOF是向被測物體表面發射紅光并
OMRON歐姆龍光電傳感器是將光信號轉換為電信號的一種器件。其工作原理基于光電效應。光電效應是指光照射在某些物質上時，物質的電子吸收光子的能量而發生了相應的電效應現象。根據光電效應現象的不同將光電效應分為三類：外光電效應、內光電效應及光生伏應。光電器件有光電管、光電倍增管、光敏電阻、光敏二極管、
熒光壽命成像（FLIM）與F?rster共振能量轉移（FRET）相結合，已被證明非常有利于生物醫學研究中各種結構和細胞動態變化的研究。因為FRET信號強烈依賴于FRET配體和受體的距離，所以FRET允許監測分子相互作用。這允許研究分子的相互作用，如配體-受體復合物，蛋白質-蛋白質相互作用、效應蛋白與
熒光壽命成像（FLIM）與F?rster共振能量轉移（FRET）相結合，已被證明非常有利于生物醫學研究中各種結構和細胞動態變化的研究。因為FRET信號強烈依賴于FRET配體和受體的距離，所以FRET允許監測分子相互作用。這允許研究分子的相互作用，如配體-受體復合物，蛋白質-蛋白質相互作用、效應蛋白與
水果品質的主要評定指標通常包括糖度、酸度、成熟度、新鮮度、硬度等多種理化指標。傳統的水果品質評定方法主要是化學分析 法，需要耗費相當的化學試劑，測試分析過程煩瑣，速度慢，通常用測定少量的樣本來代替批次水果的品質，而且測試時必須破壞水果，在水果品質分級中實際意義不大。近年來興起的無損檢測法，依據水果物
TRS-I型 土壤水勢和溫度監測儀使用說明TRS-I型土壤水勢和溫度監測儀，采用土壤水勢傳感器和溫度傳感器各一支用來測定多點土壤水勢和溫度的便攜式溫濕測定儀。它既保證了測定的精度，又降低了多點觀察的成本。適用于農田和盆栽土壤的水分和溫度測定。一、方法原理（一）土壤水勢測定：選擇開關監測儀由裝于測筒中
一、食品二氧化硫檢測的必要性二氧化硫在通常狀態下是一種無色的有刺激性氣味的氣體，有毒，易溶于水。并且溶解后和水發生化學反應生成亞硫酸。二氧化硫及亞硫酸鹽具有漂白性，它與有色物質發生化合作用生成無色的化合物，但是這種反應是可逆的， 在受熱后物質又會變為原來的顏色。由于二氧化硫及亞硫酸鹽的S&
分析測試百科網訊 納米壓痕已被證明是最實用和最有效的小體積機械測試方法之一，成功應用于各種材料。由Oliver和Pharr開發的方法已成為納米壓痕數據分析基本理論方法。為此，安東帕中國于2019年6月27日舉辦了“先進納米壓痕用戶技術研討會”，介紹其最前沿的產品高溫超納米壓痕儀的開發，和與客戶合
一：儀器概述該熱物性測試儀參考了采用熱流法及縱向熱流技術，具有方便、快捷、精確的特點，可用來測量各種不同類型材料的熱導率、熱擴散率以及熱熔，適用的熱導系數范圍0.015-200W/MK之間，適用樣品類型：固體及各向異性材料等。參照標準GB5598-85,GB3399-82,GB11205-89.&n
分析測試百科網訊 2017年10月10日-13日，國內分析測試行業影響力最大的展會——BCEIA2017在北京國家會議中心開幕，展出當今國內外分析測試領域的前沿技術和先進儀器設備。本次展會上，組委會頒布了BCEIA 2017新產品獎，共計22家國產儀器廠商、74個產品。其中獲獎最多的廠商是賽默飛
分析測試百科網訊，通過精密測量提供洞察力的專家Spectris plc（SXS：LSE）思百吉宣布了截至2019年12月31日的十二個月的全年業績。2019年銷售收入16.32億英鎊，毛利率56%，凈資產收益率ROE為13.5%，法定的營運利潤為8430萬英鎊，營運利潤率為5.2%。凈利潤為2.34
分析測試百科網訊 2019年10月23日-26日，第十八屆北京分析測試學術報告會暨展覽會“BCEIA 2019”在北京?國家會議中心隆重舉行（相關報道：活動繽紛 展商云集 BCEIA 2019北京開幕）。在10月24日晚，BCEIA 2019金獎正式公布，接下來小編將帶您一覽此次獲獎產品（附采訪