激光干涉儀使用技巧
1、Z軸激光光路快速準直方法 用激光干涉儀進行線性測量時,Z軸測量時激光光路的準直相對X、Y軸準直來說,要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下,要保證激光光束經反射鏡反射后回到激先探測器的強度滿足測量對對光強的要求,準直激光光路往往需要很長時間。 Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下:Z軸置于低處,利用激光器外殼中部的瞄準槽,正對Z軸放置分光鏡,左右移開Z軸,觀察激光光路,保證激光轉向后大致平行于Z軸,左右移回Z軸放置線性反射鏡及光靶(可以蓋在反射或分光鏡上以幫助入眼瞄準及控制光路的靶),激光打在反射鏡光靶上。 激光干涉儀初步調整后,固定分光鏡并在分光鏡上安裝光靶,通過“整體”調整精確瞄準光靶后,取下分光鏡光靶,將Z軸升高,觀察激光在反光鏡光靶上偏離程度,同時透過“尾部”調整使激光對準反光鏡光靶,若在此過程中因“尾部”的調整導致分光鏡遮擋了部分激光,則將Z軸停止上升回到起始處,重新調整“整體”,再次對準反射鏡光靶......閱讀全文
激光干涉儀怎樣調光
激光干涉儀,關鍵字是激光和干涉。干涉(interference)是兩列或兩列以上的波在空間中重疊時發生疊加從而形成新的波形的現象。對光源有一定的要求,而激光的三個特性能夠較好的發生干涉。所以就出現了用激光干涉實現某種應用的儀器。一般性應用都是測面型,距離,速度等。因為兩束滿足特定要求的激光能夠產生干
激光干涉儀的分類
激光干涉儀一般分為單頻和雙頻,中圖儀器激光干涉儀產品采用美國進口高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術,實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術,實現快速(約6分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗
激光干涉儀檢測圖譜
這要看交叉多大。有交叉不是說就不好。他是地位精度。你要看哪上邊的數值,這是不是在一定范圍,然后檢完要要進行補償,然后再撿,一般的不好的都是三遍每一遍到最后線越來越寬的。叫喇叭口,這種的不好。只要在系統的補償值范圍內就沒事,機械不要做得太次,要不沒法過。
雙頻激光干涉儀原理
干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量工具。 激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現的,最初用于檢定基準線紋尺,后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現的,它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(溫度為20℃、大
什么是激光干涉儀
激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器,在高端制造領域應用廣泛。SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面
激光干涉儀使用技巧
1、Z軸激光光路快速準直方法 用激光干涉儀進行線性測量時,Z軸測量時激光光路的準直相對X、Y軸準直來說,要困難的多。尤其是在Z軸距離較長的情況下,要保證激光光束經反射鏡反射后回到激先探測器的強度滿足測量對對光強的要求,準直激光光路往往需要很長時間。 Z軸激光光路快速準直方法具體調整方法如下:
激光干涉儀怎樣調光
調整半導體準直光源,使小孔光束在通過導軌中心線的垂面并與導軌表面平行。調節全反射腔鏡的四維調整架,使小孔光束通過其中心,并讓反射光束沿原路返回小孔。裝好聚光腔體,調節其支架,使小孔光束通過激光棒兩端面的中心,并讓其前端面的反射光點返回小孔。調節輸出境和反射鏡。調節偏振片和調Q晶體。垂直光路的調節
雙頻激光干涉儀原理
干涉儀是以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量工具。 激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現的,最初用于檢定基準線紋尺,后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現的,它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(溫度為20℃、大
激光干涉儀的應用
激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具,可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線,為數控機床的誤差修正提供可靠依據,現場使用尤為方便。 激光干涉儀配有各種附件,可測量小角度、平面度、直線度、平 行度、垂直度等形位誤差。 激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器,可直接用于高精度、大
激光干涉儀的儀器維護
1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內,防止振動,儀器搬動 時,應托住底座,以防導軌變形。 2、光學零件不用時,應存放在清潔的干燥盆內,以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙醚混合液輕拭。3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是
激光干涉儀的工作原理
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。
激光干涉儀的功能介紹
激光干涉儀,以激光波長為已知長度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。
激光干涉儀有什么功能
激光干涉儀產品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優點。通過與不同的光學組件結合,可以實現對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關軟件的配合下,還可以對數控機床進行動態性能檢測,可以進行機床振動測試與分析,滾珠絲桿的動態特性分析,驅動系統的響應特
激光干涉儀的工作原理
激光器發射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性
激光干涉儀的應用特點
(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。(2)位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節省了大量時間
激光干涉儀的技術特點
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3. 可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米4. 可測量速度、加速度、振動等參數,并評估機床動態特性5. 全套系統重量僅15公斤,設計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架6. 集
激光干涉儀的應用特點
(1)幾何精度檢測 可用于檢測直線度、垂直度、俯仰與偏擺、平面度、平行度等。(2)位置精度的檢測及其自動補償 可檢測數控機床定位精度、重復定位精度、微量位移精度等。利用雷尼紹ML10激光干涉儀不僅能自動測量機器的誤差,而且還能通過RS232接口自動對其線性誤差進行補償,比通常的補償方法節省了大量時間
激光干涉儀的功能特點
1、激光干涉儀可以同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角等,以及測量速度、加速度、振動等參數,并評估機床動態特性等。 2、激光干涉儀的光源——激光,具有高強度、高度方向性、空間同調
激光干涉儀的發展歷史
1604年開普勒(J.Kepler)寫出光學著作,指出光的強度和到達光源距離的平方成反比。并于1611年出版《折射光學》。 1801年托馬斯?楊(Thomas Young)用雙狹縫實驗演示了光的干涉現象,即著名的楊氏雙縫實驗。 1881年邁克爾遜(Albert.A.Michelson)設計了
激光干涉儀的基本不操作
1、開機:接通電源打開電源開關,1分鐘后開始檢測; 2、光路調整:旋上適合的標準鏡頭使標準鏡頭的星點對準尋星窗口中間的黑點,顯示器上顯示完整的圓形圖像; 3、透鏡面形檢測:調節沉座到被檢透鏡的適合尺寸,放上透鏡調節高度和透鏡調節鈕使透鏡的星點與標準鏡頭的星點重合,觀測顯示器是否出現干涉條紋,
激光干涉儀的儀器維護方法
1、儀器應妥善地放在干燥、清潔的房間內,防止振動,儀器搬動 時,應托住底座,以防導軌變形。 2、光學零件不用時,應存放在清潔的干燥盆內,以防止發霉。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,必要擦拭時,須先用備件毛刷小心撣去灰塵,再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和乙醚混合液輕拭。3、傳動部件應有良好的潤滑。特別是
激光干涉儀可以測角度么
激光干涉儀是可以測角度的,主要應用于運動軸的角擺測量和轉軸的旋轉角度測量。SJ6000激光干涉儀測量角度工作原理如下:角度反射鏡旋轉時產生轉角,或是移動過程中產生角擺,兩束反射光會有相對應的光程差產生,SJ6000采集到該光程差的干涉信號,經過運算處理,即可得出對應的角度值。激光干涉儀測量角度基本配
Zygo-發布全新-Qualifire-激光干涉儀
阿美特克(紐約證券交易所代碼:AME)旗下Zygo公司宣布發布其最新的激光干涉儀Qualifire?。Qualifier加入了一系列高端干涉儀解決方案,該儀器旨在支持半導體、光刻、星載成像系統、尖端消費電子產品、國防等行業中最苛刻的計量應用。Qualifire將于1月30日在加州舊金山的SPIE
激光干涉儀的技術參數
1. 線性:0.5ppm .2. 測量范圍:40米(1D可選80米)3. 線性分辨力:0.001um.4. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值5. 最大范圍:800角秒6. 滾動角精度:1.0角秒7. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值8. 直線度最
激光干涉儀的主要技術特點
1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器3. 可選的無線遙控傳感器最長的控制距離可到25米4. 可測量速度、加速度、振動等參數,并評估機床動態特性5. 全套系統重量僅15公斤,設計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架6. 集
激光干涉儀的保養注意事項
1、儀器應放置在干燥、清潔、防止振動。 2、在移動儀器時,為防止導軌變形,應托住底座再進行移動。導軌面絲桿應防止劃傷、銹蝕,用畢后,仍保持不失油狀態。 3、儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發霉。 4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應當小心擦拭
激光干涉儀的使用注意事項
1、儀器應放置在干燥、清潔以及無振動的環境中應用。2、在移動儀器時,為防止導軌變形,應托住底座再進行移動。3、儀器的光學零件在不用時,應在清潔干燥的器皿中進行存放,以防止發霉。4、盡量不要去擦拭儀器的反光鏡、分光鏡等,如必須擦拭則應當小心擦拭,利用科學的方法進行清潔。5、導軌、絲桿、螺母與軸孔部分等
激光干涉儀的工作原理是什么
激光干涉儀,對于機床的精準測量與校正提供了有效的解決方案。能同時進行三維數據測量,其距離方向(Z軸)的測量值為納米精度。此方案適用于質量監控,特別是在機床的校準方面。優點:測量精確度高,友好的用戶界面和完整的數據記錄以及存檔。產品的性價比高。缺點:設置干涉儀時需格外小心。激光光束在測量期間不允許被中
激光干涉儀的分類及功能介紹
激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發出的光束,經擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時,干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號,經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,
激光干涉儀的使用注意事項
1、激光干涉儀必須定人保管,機加技術組人員專人專用,專人送檢,他人不得隨意動用,以防損壞,降低精度。 2、激光干涉儀要設置專庫存放,環境要求干燥、通風、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫,儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。 3、對激光干涉儀要小心輕放,避