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真空獲得的主要裝置是各種類型的真空泵，而不同類型的真空計則負責真空腔體內的真空測量。根據各類質譜儀器對真空的需求程度，可選擇不同類型的真空泵、真空計、真空閥門及相應的電子學控制部件，這些部件和質譜儀的真空室組合成一個完整的真空系統，使質譜儀器能夠獲得其所需要的真空度，圖1為熱離子質譜儀的一個真空系統連接示意圖。前級泵3和分子泵2負責抽離子源部分的真空，兩個離子泵1負責分析室的真空。圖1 熱離子質譜儀真空系統連接示意圖......閱讀全文
真空獲得的主要裝置是各種類型的真空泵，而不同類型的真空計則負責真空腔體內的真空測量。根據各類質譜儀器對真空的需求程度，可選擇不同類型的真空泵、真空計、真空閥門及相應的電子學控制部件，這些部件和質譜儀的真空室組合成一個完整的真空系統，使質譜儀器能夠獲得其所需要的真空度，圖1為熱離子質譜儀的一個真空系統
質譜儀器必須在良好的真空條件下才能正常操作，一般要求質量分析器的真空優于pa。質譜儀器所檢測的離子必須要有較大的自由程才可以到達檢測器，其他氣體成分也可能與離子發生反應影響檢測，在質譜儀中工作的部件（如離子源燈絲、較密排布的高壓極板）需要在高真空下才能穩定工作。因此，質譜儀中的部件需要一個真空環境進
真空系統是質譜儀的重要組成部分，通常情況下質譜儀的離子源、質量分析器和離子檢測器都需要在高真空下工作。如果質譜儀的離子光學系統內部不是一個良好真空狀態，離子在運動過程中就會和真空室內的殘留氣體分子頻繁地發生碰撞，顯著降低儀器的分析靈敏度，并產生一系列的干擾效應，使質譜分析復雜化，造成背景增高、分析誤
質譜儀器的真空要求質譜儀器必須在良好的真空條件下才能正常操作，一般要求質量分析器的真空優于10-4pa。質譜儀器所檢測的離子必須要有較大的自由程才可以到達檢測器，其他氣體成分也可能與離子發生反應影響檢測，在質譜儀中工作的部件（如離子源燈絲、較密排布的高壓極板）需要在高真空下才能穩定工作。因此，質譜儀
質譜儀器真空系統主要包含如下一些部件:真空泵、真空計和真空閥。1.真空泵真空泵是獲得真空的設備。市場上真空泵種類很多簡單地可將其劃分為低真空泵和高真空泵兩大類。低真空泵又稱前級真空泵，既可用于真空腔室的預抽真空，又可作為高真空泵的前級泵提供高真空泵正常工作所需要的前級真空；高真空泵包括擴散泵、渦輪分
真空系統能夠使離子源、質量分析器和檢測器在低氣壓狀態下工作，待測離子不會因與殘存氣體分子發生碰撞而散射，有利于分辨率和靈敏度的提高。?常用旋片式機械泵、渦輪分子泵和鈦離子泵串聯組成真空系統，使離子源區氣壓約為10-3~10-5Pa,分析器區氣壓約為10-4~10-Pa,檢測器區氣壓為10-10-2P
真空的獲得（1）低真空泵???質譜儀器中的低真空泵有兩個用途。一是作為高真空泵——擴散泵或分子泵的前級泵，提供高真空泵正常工作所需要的前級真空；二是預抽真空，為直接進樣系統、間接進樣系統以及離子源或整個儀器暴露大氣后預抽真空，色質聯用時也用于分子分離器抽低真空。由于機械泵的運用范圍是從大氣壓開始，所
真空系統作用，是減少離子碰撞損失。若真空度低：大量氧會燒壞離子源的燈絲；會使本底增高，干擾質譜圖；引起額外的離子-分子反應，改變裂解模型，使質譜解釋復雜化；干擾離子源中電子束的正常調節；用作加速離子的幾千伏高壓會引起放電等。
（1）低真空泵???質譜儀器中的低真空泵有兩個用途。一是作為高真空泵——擴散泵或分子泵的前級泵，提供高真空泵正常工作所需要的前級真空；二是預抽真空，為直接進樣系統、間接進樣系統以及離子源或整個儀器暴露大氣后預抽真空，色質聯用時也用于分子分離器抽低真空。由于機械泵的運用范圍是從大氣壓開始，所以適合于作
質譜分析儀一般選用的真空泵是愛德華 E2M0.7、E2M1.5 這2款型號，真空泵使用到一定的時間要 做保養與維修。真空泵維修必須由接受過適當培訓的技術員來維護，確認該技術員對泵油及系統的 產物十分熟悉，做維護之前必須將泵停下，降到安全的溫度，斷開泵及其他元件與電路的