陳宜方 摘要: 綜述了國內外在納米加工X射線衍射光學透鏡方面的研究現狀和最新進展。介紹了作者團隊過去三年在這方面做的工作。針對衍射透鏡關鍵技術,研發了具有大高寬比形貌的電子束光刻基礎工藝;結合金電鍍,提出了納米尺度波帶片的制造技術,并將該工藝成功擴展于分辨率板(Siemens star)和集成光柵型會聚透鏡的研制。運用蒙特卡羅模擬和顯影動力學,探索了電子束光刻技術所能夠實現~100 nm的波帶片透鏡(其中,100 nm波帶片高寬比為16:1)、50~300 nm的分辨率測試板(其中,300 nm測試板高寬比為10:1)和200 nm的會聚透鏡(高寬比為10:1)。對所研制的光學部件在同步輻射光源進行了實驗表征。結果表明,100 nm波帶片聚焦斑尺寸為234 nm,測試板和會聚透鏡的光學特性與國外同樣光學部件到達同等水平;會聚透鏡輻照的均勻性為99%......閱讀全文
3 X射線光學表征3.1 100 nm分辨率波帶片的聚焦特性100 nm波帶片的光學聚焦特性在上海光源同步輻射BL15U1線站進行了光學表征。圖 22是光學測試系統(圖 22(a))和光路示意圖(圖 22(b))。X射線的能量是10 keV,波帶片的第一環直徑為3.46 μm,總共有300個波帶
分析測試百科網訊 2015年10月17日,第二屆全國質譜分析學術報告會(質譜大會)在浙江大學紫荊港校區體育館盛大開幕,本次大會由中國化學會、國家自然科學基金委員會主辦,中國化學會質譜分析專業委員會、浙江大學化學系承辦。浙江大學副校長羅建紅教授、南京大學陳洪淵院士、中
分析測試百科網訊 明亮的落地玻璃窗,琳瑯滿目的儀器設備,嚴肅認真的研究人員穿梭忙碌。這是分析測試百科小編對復旦大學先進材料實驗室的第一印象。 復旦大學先進材料實驗室是教育部“985工程”二期重點建設項目之一,于2005年4月成立,通過物理、化學、生物、材料、信息、
中國儀器儀表學會分析儀器分會2016年會期間,于8月21日上午舉辦了“科學儀器零部件及工藝技術進展和應用”的分會,多位院所和企業的技術專家分享了核心部件或工藝方面的成果。中國儀器儀表學會分析儀器分會理事長 關亞風 主持分會場報告中國工程物理研究院機械制造工藝研究所 陶繼忠 中國工程物理研究院機
【導語】第五期原子光譜沙龍上,發言者介紹了更多的前沿應用:如在生命科學領域中,應用生物元素標記、單納米顆粒的ICP-MS新技術來分析痕量元素;利用鉛同位素比值的鉛指紋技術,來研究和溯源鉛暴露及進行高鉛血癥的臨床溯源;在富集/前處
2019年8月16日,國家自然科學基金委員會公布了2019年度國家自然科學基金申請項目評審結果,共接收項目申請240711項,面上項目18995項、重點項目743項、重點國際(地區)合作研究項目103項、青年科學基金項目17966項、優秀青年科學基金項目600項、創新研究群體項目45項、海外及港